洁净室空调采用循环空气方式

FFU层流罩之洁净室乱流式：

　　空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器（HEPA）进入洁净室，并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于洁净室等级1,000-100,000级。　　
　　
        优点：构造简单、系统建造成本，洁净室之扩充比较容易，在某些特殊用途场所，可并用无尘工作台，提高洁净室等级。

　　缺点：乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出，易污染制程产品。另外若系统停止运转再激活，欲达需求之洁净度，往往须耗时相当长一段时间。

    FFU层流罩之集中式洁净空调系统是无尘净化工程的洁净设备（如加热器、冷却器、加湿器、粗中效空气过滤器、风机等）集中设计在空调机房内，用风管将洁净空气送进各个洁净室。分散式洁净空调系统是在一般的空调环境或低级别洁净空调环境中，设置净化设备或洁净空调设备（如净化单元、空气自净器、层流罩、洁净工作台等）.在半导体芯片工厂或其他生产过程要求高洁净度的洁净厂房中，其洁净空调系统采用循环空气方式，其循环方式主要有集中式、隧道式、风机过滤单（FFU）方式和微环境+开放式洁净室方式等。这些送风方式既可以满足高洁净度要求，还可以不同程度地减小能耗。

　  LED/液晶/线路板制造是一种高度精密化的工业，一些细微的环境或操作变动都有可能影响其制造成品的质量，因此制造过程均要求在严格控制下的洁净室中操作。洁净室是一个采用层层过滤以去除空气中微粒存在，并控制室内温度与湿度于恒定状态的密闭空间。


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